Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik (English, Gerhard Franz)
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Book Details
Publisher
Springer
Language
English
ISBN-13
9783642622847
ISBN-10
3642622844
Author
Gerhard Franz
About the Book
In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der…
ISBN: 9783642622847
ISBN-13: 9783642622847
ISBN-10: 3642622844
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Product ID: isbn-9783642622847
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