Entwicklung Und Optimierung Von Prozeßkomponenten Zur Ionenunterstützten Abscheidung Bei Pvd-Verfahr (English, Walter Olbrich)
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Book Details
Publisher
Springer
Language
English
ISBN-13
9783540585114
ISBN-10
3540585117
Author
Walter Olbrich
About the Book
Die physikalische Abscheidung aus der Gasphase (Physical Vapor Deposition, PVD) ist ein junges Fertigungsverfahren der Obertliichentechnik. Mit PVD-Verfahren lassen sich diinne Schichten im Bereich einiger Nanometer bis zu einigen Mikrometem aufvielen Werkstiicken erzeugen. Durch die Beschichtung lassen sich gezielt die Eigenschaften der Werkstiickober- flache veriindem. Die Oberflache dient bei allen Bauteilen als Schnittstelle zu ihrer Umwelt u…
ISBN: 9783540585114
ISBN-13: 9783540585114
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Product ID: isbn-9783540585114
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