Prozeßtechnologie (English, N. Bündgens | Günter Schumicki | T. Evelbauer)
by N. Bündgens | Günter Schumicki | T. Evelbauer
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Book Details
Publisher
Springer
Language
English
ISBN-13
9783540176701
ISBN-10
3540176705
Author
N. Bündgens | Günter Schumicki | T. Evelbauer
About the Book
Proze technologie behandelt Fertigungsverfahren integrierter Schaltungen in CMOS-Technologie. Hierbei werden zunächst die Einzelprozesse behandelt, die der Strukturerzeugung, Strukturübertragung, Schichterzeugung und Schichtmodifikation zugerechnet werden. Im Anschlu daran wird gezeigt, wie Einzelprozesse zu einem Gesamtproze für die Herstellung von CMOS-Schaltungen integriert werden. Auf die Charakterisierung der Prozesse und die Entwicklung der…
ISBN: 9783540176701
ISBN-13: 9783540176701
ISBN-10: 3540176705
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Product ID: isbn-9783540176701
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